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當廢氣進入等離子（zǐ）光（guāng）解一（yī）體機淨化設備內時，先經（jīng）過等離子體化學反應過程，即電子首先從 電場獲得（dé）能量，通過激發（fā）或（huò）電（diàn）離（lí）將能量轉移到分子或原子中（zhōng）去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性團；之後這些活性團與分子或原子、活（huó）性團與活性團之間相（xiàng）互碰（pèng）撞（zhuàng）後生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜（xié）能電（diàn）子（zǐ）轟擊汙染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一係列複雜的物理、化學（xué）反應（yīng），使複雜大分子汙染（rǎn）物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或（huò）低毒低害的物質，從而使（shǐ）汙（wū）染物得以降解去除。) 然後部分有機廢氣再通過（guò）破（pò）壞、分解、催化氧化（huà）把汙薩（sà）體分解為無毒無害無味氣體。采用高能C波段光峽裂汙薩體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子汙染物質裂解、氧化成為低分子無害物（wù）質，如水和二氧化碳等。
O3強催化氧化（huà）劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細（xì）菌（jun1），將有毒有（yǒu）害物質破（pò）壞且改變成為（wéi）低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑塗層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離熏即活性熏（xūn）因遊離氧所攜正負電子不平衡所以（yǐ）需與氧分子（zǐ）結合，進而產（chǎn）生（shēng）臭（chòu）氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知（zhī）臭氧對有機物具有超強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺（cì）激性異味有（yǒu）超強的清除效果。O3也為強催（cuī）化（huà）氧化劑進行廢氣催（cuī）化氧化, 裂解（jiě）惡臭氣體中細菌的（de）分（fèn）子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，透徹達到脫臭及殺滅菌的目的。
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