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氣浮平台有氣浮直線（xiàn）平台與（yǔ）氣浮（旋（xuán）轉）轉台兩類。氣浮（fú）平台的核心（xīn）原理是由空氣軸承結（jié）合電控元（yuán）件構（gòu）成的精密位移平（píng）台，基於空氣軸承的原理，讓負載板浮（fú）在氣（qì）浮（fú）導軌（guǐ）或氣浮（fú）軸承上，實現無摩擦（cā）、無振動的平滑運動。
氣浮平台的氣浮直線導軌（guǐ）常見（jiàn）的形式（shì）有：
1. 重力平衡式氣浮導軌（guǐ）；
2. 閉式氣浮導軌（guǐ）；
3. 永磁預載式氣浮導軌；
4. 真空吸附式氣浮導軌。
常見的氣（qì）浮（fú）孔結構為（wéi）：
1. 小孔節流結構；
2. 多孔（kǒng）質結構。
氣浮平台的高直線度和平麵度依賴於氣浮導（dǎo）軌，材質分為鋁合金、大（dà）理石及碳化矽陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力（lì）、節流器、均壓槽深度等，找到了zui優氣（qì）膜剛度時的參數區間有著出（chū）色的性能（néng）精度，行程300mm直（zhí）線度和平麵度的誤（wù）差在1μm以（yǐ）內，氣浮平台的承載能力也非常的出（chū）色，在市場上已經逐漸得到大家的認（rèn）可。
