氣浮平台有氣浮直線平台與(yǔ)氣浮(旋轉)轉台兩類。氣浮平台的核心原理是由空氣軸(zhóu)承結合電控(kòng)元件構成(chéng)的精密位移平台,基於空氣軸承的原理,讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌(guǐ)或(huò)氣浮軸承上,實現無摩擦、無振動的平滑運動。
氣浮平(píng)台的氣浮直線導軌常見的形式有:
1. 重力平衡式氣浮導軌;
2. 閉式氣浮導軌(guǐ);
3. 永磁預載(zǎi)式氣浮導軌;
4. 真空吸附式氣浮導軌。
常見的氣浮孔結構為:
1. 小孔節流結構(gòu);
2. 多孔質結構。
氣浮(fú)平台的高直線度和平麵度(dù)依賴於氣浮導軌,材質分為鋁合金、大(dà)理石及碳化矽陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓(yā)力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深(shēn)度等,找(zhǎo)到了(le)zui優氣膜剛度時的參數區間(jiān)有著出色(sè)的性能精度,行程300mm直(zhí)線度和平麵度的誤差在1μm以內,氣浮平台的承載能力也非常的出色,在市場上已經逐漸得到大家的認可。