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當廢（fèi）氣進入等離子光解（jiě）一體機淨化設備內（nèi）時，先經過等離子體（tǐ）化學反應過程（chéng），即電子首先從 電場獲得能量，通過激發或電（diàn）離將能量轉移到分子或原（yuán）子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同（tóng）時有部分分子（zǐ）被電離，從而成為活性團；之後這些（xiē）活性團與分子或原子、活性團與活性團（tuán）之間相互碰撞後（hòu）生成穩定產物和熱。(在外（wài）加（jiā）電場的作用下，介質放電產生（shēng）的大量攜能電子轟擊汙染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一係列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子汙染物轉變為簡單小分子安（ān）全物（wù）質，或使有（yǒu）毒有害物質轉變成無毒無（wú）害或（huò）低毒低害的物質，從而使汙染物得以降解去除。) 然後部分有（yǒu）機廢氣再通過破壞、分解、催化（huà）氧化把（bǎ）汙薩體分解為無毒無害無味氣體。采用高能（néng）C波段光峽裂汙薩體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子（zǐ）汙染物（wù）質裂解、氧化（huà）成為（wéi）低分子無害物質，如水和二氧化碳等（děng）。
O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧（yǎng）化, 可有（yǒu）效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在C波段激光（guāng）刺激催化劑塗層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高（gāo）能高臭（chòu）氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離熏即活性熏因遊（yóu）離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有（yǒu）超強的氧化作用，對惡臭氣體及其（qí）它（tā）刺激性（xìng）異味有超強的清（qīng）除效果。O3也為（wéi）強催化氧化劑進行廢氣催（cuī）化氧化, 裂解惡臭氣體中（zhōng）細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，透徹（chè）達到脫臭及殺滅（miè）菌的目的。
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